评价报告编号No：皖安评20211100121

项目名称

南大光电半导体材料有限公司年产433吨前驱体和合金材料

产业化项目（一期）安全条件评价报告

项目简介

评价对象：南大光电半导体材料有限公司

项目类型：安全条件评价报告

项目内容：

南大光电半导体材料有限公司（以下简称“南大光电半导体公司”）成立于2019年1月10日，是由江苏南大光电材料股份有限公司投资的全资子公司，位于安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道117号，企业性质为股份有限责任公司，法定代表人冯剑松，该公司以高新技术光电子及微电子材料的研究、开发、生产、销售为主，主要生产高纯磷烷、高纯砷烷等高纯电子材料产品。

南大光电现已建成年产170吨MO源和高K三甲基铝项目（一期），并通过验收取得安全生产许可证，编号：（皖M）WH安许证字[2020]G29号，许可范围：三甲基铝(HK)100t/a、三甲基铝(OPTO)5t/a，有效期至2023年12月14日。

（1）项目建设内容

本项目不新增任何建筑物，均为依托。

本项目拟在已建厂房A1车间内中部1～4层预留位置建设年产20吨的六氯乙硅烷（HCDS）生产线1条、年产10吨的四氯化钛（TiCl4）生产线1条、年产120吨的正硅酸乙酯（TEOS）生产线1条、年产2吨的三氯化铝（AlCl3）生产线2条、年产1吨的四氯化铪（HfCl4)生产线1条、年产1吨的三氯化铟（InCl3)生产线1条和年产1吨的（3，3-二甲基-1-丁炔）六羰基二钴（CCTBA）生产线1条。

本项目拟在待建A5车间内西部1层预留位置建设年产55吨的镓镁合金（镓60%、镁40％）破碎生产线1条、年产5吨的铟镁合金（铟55%、镁45％）破碎生产线1条。

其他公辅工程（如供电系统、消防水系统、给排水系统、供热系统、压缩空气系统、氮气、氩气系统等）均依托厂区现有的公辅工程。

（2）项目前期备案、安全审批情况

2022年1月24日，滁州市全椒县经信局出具了本项目《备案表》（编号：2110-341124-07-02-641989），确定南大光电半导体材料有限公司年产433吨前驱体和合金材料产业化项目分两期建设。

一期建设：镓镁合金（镓60%、镁40%）破碎产线，年产能为55吨；铟镁合金（铟55%、镁45%）破碎产线，年产能为5吨；六氯乙硅烷（HCDS）产线，年产能为20吨；四氯化钛（TiCl4）产线，年产能为10吨；正硅酸乙酯（TEOS）1条产线，年产能为120吨；三氯化铝（AlCl3）2条产线，年产能为2吨；四氯化铪（HfCl4)1条产线，年产能为1吨；三氯化铟（InCl3)1条产线，年产能为1吨；(3，3-二甲基-1-丁炔）六羰基二钴(CCTBA)1条产线，年产能为1吨。

二期建设：二乙氧基甲基硅烷（DEMS）产线，年产能为20吨；a-松油烯（ATRP）产线，年产能为20吨；四甲基硅烷（4MS）产线，年产能为20吨；正硅酸乙酯（TEOS）1条产线，年产能为120吨；八甲基环四硅氧烷（OMCTS）产线，年产能为20吨；双（二乙基胺基）硅烷（BDEAS）产线，年产能为10吨；三乙基铝（TEA）产线，年产能为1吨；吡啶（C5H5N）产线，产能为1吨；辛烷（OCTANE）产线，年产能为1吨；四（二甲基胺基）钛（TDMAT）产线，年产能为2吨；1，1，1-三（二甲胺基）乙硅烷（TADS）产线，年产能为1吨；三（二甲胺基）硅烷（TDMAS）产线，年产能为2吨。

（3）主要技术、工艺水平对比情况

本项目前驱体产品的提纯工艺为液体精馏提纯、固体升华提纯，不涉及化学反应过程。工艺技术来源于同一集团公司旗下的全椒南大光电材料有限公司，双方签订技术转让协议，全椒南大光电材料有限公司将拥有的正硅酸乙酯（TEOS）、六氯乙硅烷（HCDS）和四氯化钛（TiCl4）等前驱体材料的提纯、升华技术工艺包转让于南大光电半导体材料有限公司（技术转让协议见附件6），并提供技术指导，该技术已经在全椒南大光电材料有限公司生产多年，工艺成熟可靠，不属于国内首次使用工艺。

本项目合金材料仅通过破碎设备进行粉碎，过程采用氩气作为保护气。该工艺过程为物理性状变化不涉及化学反应，为国内通用的金属粉碎工艺，工艺技术安全可靠。

依据《产业结构调整指导目录（2019年本）》（发改委令第29号，2021年修订），本项目属于“鼓励类”；第二十八项、信息产业中，第22条：半导体、光电子器件、新型电子元器件（片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等）等电子产品用材料类。

依据《国家安全监管总局关于印发淘汰落后安全技术装备目录（2015年第一批）的通知》（安监总科技〔2015〕75号）、《国家安全监管总局关于印发淘汰落后安全技术工艺、设备目录（2016年）的通知》（安监总科技〔2016〕137号）、《推广先进与淘汰落后安全技术装备目录（第二批）》（国家安全生产监督管理总局、中华人民共和国科学技术部、中华人民共和国工业和信息化部公告〔2017〕第19号）、《应急管理部办公厅关于印发淘汰落后危险化学品安全生产工艺技术设备目录（第一批）的通知》（应急厅〔2020〕38号），《限期淘汰产生严重污染环境的工业固体废物的落后生产工艺设备名录》（中华人民共和国工业和信息化部公告2021年第25号），本项目拟采用的生产工艺设备未列入落后淘汰类生产工艺装备。

依据《安徽省应急管理厅关于严格控制高风险危险化学品建设项目的通知》皖应急〔2021〕89号，高风险危险化学品项目（简称“高风险项目”）包括：光气生产企业，涉及光气化、硝化、重氮化、偶氮化工艺以及硝酸铵、硝酸胍、硝基苯系物、硝化纤维素、氯酸钾、氯酸钠等爆炸性化学品的项目。本项目生产工艺不涉及光气化、硝化、重氮化、偶氮化工艺；主要原辅材料不涉及硝酸铵、硝酸胍、硝基苯系物、硝化纤维素、氯酸钾、氯酸钠等爆炸性化学品，故本项目不属于高风险危险化学品项目。

依据《国家安全监管总局办公厅关于具有爆炸危险性危险化学品建设项目界定标准的复函》（安监总厅管三函〔2014〕5号），本项目原料正硅酸乙酯（TEOS）等易燃液体的蒸气能与空气形成爆炸性混合物，因此本项目为具有爆炸危险性的建设项目。

依据《国家安全监管总局关于加强精细化工反应安全风险评估工作的指导意见》（安监总管三〔2017〕1号），《关于聚焦“一防三提升”开展危险化学品安全生产集中治理整顿工作的通知》（皖应急[2021]74号），本项目生产工艺不涉及重点监管危险化工工艺和金属有机物合成反应（包括格氏反应）的间歇和半间歇反应。

依据《国家安全监管总局关于公布首批重点监管的危险化工工艺目录的通知》（安监总管三〔2009〕116号）、《国家安全监管总局关于公布第二批重点监管危险化工工艺目录和调整首批重点监管危险化工工艺中部分典型工艺的通知》（安监总管三〔2013〕3号），本项目不涉及危险化工工艺。

依据《国家安全监管总局关于公布首批重点监管的危险化学品名录的通知》（安监总管三〔2011〕95号）和《国家安全监管总局关于公布第二批重点监管危险化学品名录的通知》（安监总管三〔2013〕12号），本项目涉及的四氯化钛属于首批重点监管的危险化学品。

依据《危险化学品目录》（2015年版）辨识，本项目不涉及剧毒化学品。

依据《易制毒化学品管理条例》（中华人民共和国国务院令第445号）、《非药品类易制毒化学品生产、经营许可办法》（国家安全生产监督管理总局令第5号）、《国务院办公厅关于同意将N-苯乙基-4-哌啶酮、4-苯胺基-N-苯乙基哌啶、N-甲基-1-苯基-1-氯-2-丙胺、溴素、1-苯基-1-丙酮列入易制毒化学品品种目录的函》（国办函〔2017〕120号）和《国务院办公厅关于同意将α-苯乙酰乙酸甲酯等6种物质列入易制毒化学品品种目录的函》（国办函〔2021〕58号）辨识，本项目不涉及易制毒化学品。

依据《高毒物品目录》（2003年版）辨识，本项目不涉及高毒化学品。

依据《易制爆危险化学品名录》（2017年版）辨识，本项目原料镁属于易制爆危险化学品。

依据《各类监控化学品名录》（中华人民共和国工业和信息化部令第52号）辨识，本项目不涉及监控化学品。

依据《特别管控危险化学品目录（第一版）》辨识（应急管理部、工业和信息化部、公安部、交通运输部公告2020年第1号），本项目不涉及特别管控危险化学品。

参照《工贸行业重点可燃性粉尘目录（2015版）》和《工贸行业可燃性粉尘作业场所工艺设施防爆技术指南（试行）》辨识，本项目产品标准铟镁合金粉、镓镁合金粉粒径为1.3～1.6cm（见附件7：企业提供铟镁合金粉、镓镁合金粉粒产品合格标准），本项目镁合金粉的粒径远大于镁合金粉的爆炸性粉尘中位径（21μm），故不属于目录中爆炸危险性相对较高的可燃性粉尘。

项目组

项目组长

罗健（安全评价师、注册安全工程师）

评价人员

及任务

祁冬东（安全评价师、注册安全工程师）（收集资料、现场勘查、整改复查）

夏义定（安全评价师、注册安全工程师）（现场勘查、危险有害因素辨识）

报告编制人

李祥兵（安全评价师、注册安全工程师）

报告审核人

王斌（安全评价师、注册安全工程师）

技术负责人

田莉娟（安全评价师、注册安全工程师）

过程控制负责人

夏炎（安全评价师）

报告提交时间

2022年5月5日

现场照片