评 价 信 息 表

评价报告名称

南大光电半导体材料有限公司年产68吨半导体先进制程用硅前驱体材料产业化项目（一期）安全设施竣工验收安全评价报告 

(评价报告编号：皖WH20250100126)

行业类别

化学原料和化学品制造业

评价类型

安全设施竣工验收安全评价报告

项目地址

安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道117号

项目简介

南大光电半导体材料有限公司年产68吨半导体先进制程用硅前驱体材料产业化项目（一期）（以下简称“本项目”）于南大半导体现有厂区范围内建设，目前已建成试生产，建设内容主要有：（1）生产装置：①依托A1车间新建年产1吨辛烷提纯生产线；②依托A2车间新建年产6吨双（二乙基胺基）硅烷（BDEAS）生产线、年产1.5吨双（叔丁基胺基）硅烷（BTBAS）生产线、年产30吨二异丙胺硅烷（DIPAS）生产线，其中BDEAS、BTBAS共用一套生产装置（更换生产品种时进行清洗、置换）；③依托钢瓶处理车间新建年产1吨二氯二氧化钼升华提纯生产线；④依托A5车间新建产品包装间。（2）储存设施：①依托甲类仓库2、甲类仓库4、丙类仓库存储本项目涉及的原辅材料和产品；②将罐区原硫酸二甲酯储罐移位至罐区东侧预留位置，在原硫酸二甲酯储罐位置上新增两辆硅烷鱼雷车，储存本项目的原料硅烷。（3）公辅工程：①在A2车间西侧新增一套TO焚烧炉废气处理设施。②在分析检测中心预留房间内新增一间分析室。③在钢瓶处理车间新增钢瓶安全处理间、钢瓶测试间及后续去标签、烘干等房间。④其他公辅工程如供水、供电、供气、消防、污水处理等均依托原有设施。

技术负责人

孙红敏

过程控制负责人

刘根

姓名

职务

职业资格证编号

项目负责人

施腾龙

组长

1800000000200411

项目组成员

（报告编制人）

田莉娟

组员

1600000000200506

余志德

组员

1500000000301807

赵明

组员

1700000000300688

祁冬东

组员

1600000000300547

徐颖

组员

1800000000300366

报告审核人

李祥兵

现场开展评价人员

施腾龙、祁冬东

专家评审情况

通过评审

评价结论

南大光电半导体材料有限公司年产68吨半导体先进制程用硅前驱体材料产业化项目（一期）已具备安全设施竣工验收条件，符合《危险化学品生产企业安全生产许可证实施办法》（安监总局令41号，2017年修订）的发证条件，符合安全生产条件。

现场开展照片